Mocvd reaktori soojendamine induktsiooniga
Induktsioonkuumutus Metalorgaanilised keemilise aurustamise-sadestamise (MOCVD) reaktorid on tehnoloogia, mille eesmärk on parandada küttetõhusust ja vähendada kahjulikku magnetühendust gaasi sisselaskeavaga. Tavaliste induktsioonkuumutusega MOCVD reaktorite induktsioonmähis asub sageli väljaspool kambrit, mis võib põhjustada vähem tõhusat kuumutamist ja potentsiaalseid magnetilisi häireid gaasivarustussüsteemis. Viimased… Loe edasi